Россия, Мордовия, г. Саранск, ул. Пролетарская, д. 126 |  +7 (8342) 29-60-34

Производство

Для анализа качества выращенных эпитаксиальных структур карбида кремния создана уникальная специализированная лаборатория включающая следующее контрольно-измерительное оборудование:

CV Map92А

Установка измерения концентрации легирующей примеси на базе ртутного зонда

P16+

Установка измерения шероховатости поверхности эпитаксиальных слоев карбида кремния на базе стилусного профилометра

Nicolet6700

Установка измерения толщины эпитаксиального слоя карбида кремния на базе ИК Фурье спектрометр

NikonLVD 100D

Прямой микроскоп с системой анализа изображения

Rigaku Smart Lab

Установка измерения кристаллографического совершенства эпитаксиальных слоев карбида кремния на базе рентгеновского дифрактометра